電子級超純水設備出水水質完全符合美國ASTM純水水質標準、我國電子工業部電子級水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業部高純水水質試行標準、美國半導體工業用純水指標、日本集成電路水質標準、國內外大規模集成電路水質標準。那么,實驗室超純水設備使用中標準配置是什么?
1.一體式PPF精密濾芯:過濾泥沙、顆粒物;
2.一體式活性炭濾芯:吸附有機物、余氯 ;
3.反滲透膜裝置:第一步脫鹽和去除自來水中的細菌和有機物;
4.壓力純水桶:存放反滲透純水,同時提供取水動力;
5.離子交換柱:第二步脫鹽,電阻達10兆歐以上;
6.核級超純化柱:第三步深度脫鹽,電阻達18.2兆歐以上;
7.終端1微米微孔過濾:過濾細小顆粒物質;
8.超純水專用0.45+0.2微米孔徑終端過濾器(選配):去除細菌及雜質;
9.電子元器件等:提供各種控制功能。